技術(shù)文章
Technical articles離子束沉積(IonBeamDeposition,IBD)是一種常用的薄膜制備技術(shù),它利用離子束轟擊靶材表面,從而使其原子或分子在表面沉積成薄膜。離子束沉積具有高度可控性、良好的均勻性和較低的表面粗糙度等優(yōu)點,因此在微電子學(xué)、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。離子束沉積的基本原理是利用離子束能量將靶材表面的原子或分子打碎,并沉積在基底上形成薄膜。離子束沉積有兩種方式,即單源離子束沉積和多源離子束沉積。單源離子束沉積是指利用單個離子源產(chǎn)生離子束,直接轟擊靶材表面進(jìn)行沉積;而多源離...
三維光學(xué)輪廓儀對各種產(chǎn)品,部件和材料的表面輪廓,粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析的精密儀器。下面讓我們一起來了解一下三維光學(xué)輪廓儀的主要功能吧:1、共聚焦共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時,共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°(粗糙表面達(dá)86°)。共聚焦算法保證Z...
光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。三維光學(xué)輪廓儀是對物體的輪廓、三維尺寸、三維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進(jìn)行測量的,是接觸測量。其主要優(yōu)點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面,如孔、槽等的表面粗糙度,又能直接按某種評定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表...
高精度輪廓儀能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算...
三維光學(xué)輪廓儀檢測設(shè)備主要對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。三維光學(xué)輪廓儀檢測設(shè)備是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,主要對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。下面讓我們一...
納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。下面讓我們一起來了解一下微納米壓痕儀的主要功能吧:1.連續(xù)剛度測量(CSM)CSM技術(shù)包括在壓痕過程中測量力學(xué)性能隨深度、力、時間或頻率變化的函數(shù)。該方案采用恒定應(yīng)變速率試驗,測量硬度和模量作為深度或載荷的函數(shù),是學(xué)術(shù)界和工業(yè)界常用的試驗方法。CSM還用于其他高級測試,包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA™方法和AccuFilm&t...
高精度原子力顯微鏡的工作模式是以針尖與樣品之間的作用力的形式來分類的。主要有以下3種操作模式:接觸模式,非接觸模式和敲擊模式。1、接觸模式從概念上來理解,接觸模式是AFM最直接的成像模式。正如名字所描述的那樣,AFM在整個掃描成像過程之中,探針針尖始終與樣品表面保持緊密的接觸,而相互作用力是排斥力。掃描時,懸臂施加在針尖上的力有可能破壞試樣的表面結(jié)構(gòu),因此力的大小范圍在10-10~10-6N。若樣品表面柔嫩而不能承受這樣的力,便不宜選用接觸模式對樣品表面進(jìn)行成像。2、非接觸模...
高精度原子力顯微鏡是一種可用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它主要由帶針尖的微懸臂、微懸臂運動檢測裝置、監(jiān)控其運動的反饋回路、使樣品進(jìn)行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計算機控制的圖像采集、顯示及處理系統(tǒng)組成。微懸臂運動可用如隧道電流檢測等電學(xué)方法或光束偏轉(zhuǎn)法、干涉法等光學(xué)方法檢測,當(dāng)針尖與樣品充分接近相互之間存在短程相互斥力時,檢測該斥力可獲得表面原子級分辨圖像,一般情況下分辨率也在納米級水平。AFM測量對樣品無特殊要求,不需要對樣品進(jìn)行特殊處理,僅在大氣環(huán)境下就...