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非接觸式優(yōu)點就是測量裝置探測部分不與被測表面的直接接觸，保護了測量裝置，同時避免了與測量裝置直接接觸引入的測量誤差。 Zeta-20三維光學輪廓儀集成了六種光學計量技術(shù)。 ZDot 測量模式同時采集高分辨率 3D 掃描和真彩色無限對焦圖像。其他測量技術(shù)包括白光干涉法、Nomarski 干涉對比顯微鏡和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于樣品審查或自動缺陷檢測。

Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術(shù)的經(jīng)濟三維光學輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測量。 我司有此機器可測樣。

從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制，該系統(tǒng)可以用于從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進行表面微觀測量分析和粗糙度質(zhì)量評價。白光干涉原理。

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)提供了低成本，適用于半導體，化合物半導體和相關(guān)行業(yè)。 P-170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P17。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力2D和3D測量，掃描可達200mm無需圖像拼接。結(jié)合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，有出色測量穩(wěn)定性。