臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器 。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
 

　　其測(cè)量原理是：當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。
 

　　傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來(lái)，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測(cè)量的影響。
 

　　圓探針式臺(tái)階儀主要用于材料的結(jié)構(gòu)及表面解析，在微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域大顯身手。
 

　　同時(shí)按照應(yīng)用的領(lǐng)域不同，要求不同，臺(tái)階儀的型號(hào)也多種多樣，下面以我們優(yōu)尼康提供的一款型號(hào)為P-17的臺(tái)階儀為例，簡(jiǎn)單介紹下這款儀器的功能以及應(yīng)用，以供大家參考了解臺(tái)階儀可以做什么，有哪些功能，該型號(hào)為常用款，如有更高需求也可以咨詢(xún)我們，會(huì)為大家推薦更合適的機(jī)臺(tái)。
 

　　通過(guò)點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及光學(xué)變焦相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可支持2D或3D測(cè)量。 圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
 

　　圓探針式臺(tái)階儀的設(shè)備特點(diǎn)如下：
 

　　臺(tái)階高度：幾納米至1000μm
 

　　微力恒力控制：0.03至50mg
 

　　樣品全直徑掃描，無(wú)需圖像拼接
 

　　視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)
 

　　圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
 

　　軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面
 

　　生產(chǎn)能力：通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化